Análise de fluorescência de RX (XRF) por espetrometria dispersiva em energia (SEM/EDS)

Sistema de espectrometria de raios X dispersivos de energia baseado em um detector de desvio de silício, com resolução de energia de 133 eV (Mn Ka) @ 100 kcps. O detector tem uma área efetiva de 10 mm^2 e é resfriado por um elemento Peltier. Os elementos na faixa B (5) a Am (95) podem ser identificados e quantificados. O módulo de software usa um método PB-ZAF sem padrão para quantificação. Este sistema é instalado no SEM. O mapeamento elementar de linha e área está totalmente integrado no software SEM.