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Caracterização de filmes finos e multicamadas por refletometria de RX (XRR)
Aquisição de perfis de refletometria de RX (XRR) para caracterização de filmes finos e revestimentos (espessura do filme, rugosidade, etc.)
Os perfis de XRR são medidos num difratómetro de pó de raios X equipado com óptica twin-twin (Bragg-Brentano e geometria de feixe paralelo com espelhos Goebel) para DRX convencional em pó, DRX de incidência rasante e reflectometria de raios-X. O difratómetro trabalha com radiação Cu Ka (tubo cerâmico de 2,2kW, e para XRR é usada radiação Ka1 fitrada por meio do espelho Goebel). Sistema de detecção: detector 1D LynxEye (Silicon Drift Detector) com resolução em energia de ~25% e com elevada gama dinâmica. Está disponível um porta-amostras especial para filmes finos, com sistema de sucção por vácuo e micrómetro para garantir um perfeito alinhamento da amostra.
Técnica:
- Difração de raios-X (XRD)
Método:XRR, Reflectometria de Raios-X
Produtos analisados:
- Filmes finos
- Multicamadas
Forma de acesso
- Físico
Modos de acessos
- Pago
- Gratuito (com condições)
Disponibilidade geográfica
- Mundo
Idiomas
- Inglês
- Português
Perguntas frequentes
Serviço prestado porTrace Analysis and Imaging Laboratory (TAIL)